第386章 总纲（1/2）

红星轧钢厂，蝉鸣如沸。

动力车间的改造仓库里，空气凝重得能拧出水来。

长条桌上摊开的图纸、笔记本、计算草稿已经堆成了小山。

烟灰缸满了一次又一次，两个巨大的落地扇，吹不散那股混合着烟味、汗味和墨水味的气息。

那是高强度脑力劳动后独有的战场硝烟。

二十多位中国顶尖的半导体、机械、电力等领域专家、建筑大师、工程师、青年技术骨干，在这十天里进行了一场前所未有的“思维熔炼”。

此刻，是第八天的下午四点。

吕辰站在仓库前方那块写满又擦掉无数次的黑板前，手中的粉笔停在半空。

他的眼圈发黑，衬衫袖口卷到肘部，上面沾着粉笔灰和不知何时溅上的墨水。

“那么，‘扩散炉区域独立基础，与主厂房地基完全脱开，防微振等级Z级。’这一条，最后确认？”他的声音有些沙哑，但依然清晰。

坐在前排的扩散工艺专家徐工缓缓点头：“确认。我们的扩散炉对振动极其敏感，地基传来的微小震动都会影响掺杂均匀性。必须完全脱开。”

建筑团队的年轻建筑师飞快记录：“Z级，0.5微米每秒。这是比精密仪器实验室还要严苛的标准。”

梁先生点点头，温和道：“我们会专门设计弹簧隔振基础。”

吕辰在黑板上写下最后一行字，然后缓缓放下粉笔。

他转过身：“各位老师，各位同志。那么，经过八研讨，我们完成了《6305厂工艺-空间集成总纲》的初稿。”

没有掌声，没有欢呼。

只有一片深长的、如释重负的寂静。

然后，有人轻轻舒了口气；有人向后靠在椅背上，闭上了眼睛；有人点燃了今天的不知道第几支烟。

陈光远站起身，走到吕辰身边，拍了拍他的肩膀，然后转向众人：“这十天，辛苦大家了。我们做了一件开天辟地的事，为中国的第一条集成电路生产线，画出了第一张真正意义上的‘全身骨骼图’。”

他拿起桌上那份厚达两百多页的油印材料，封面上是手写的标题：《6305厂工艺-空间集成总纲（初稿）——星河计划技术-建筑协同研讨会成果汇编》。

“这不是最终版。”陈光远的声音在安静的仓库里回荡，“但这已经是我们目前所能达到的最系统、最深入、最接近‘可施工’的规划。”

他翻开总纲的目录页，一页页念过那些凝聚着十天心血的部分。

“第一章，工艺模块定义与核心参数。从‘拉晶’开始，到‘氧化’、‘光刻’、‘刻蚀’、‘扩散’、‘离子注入’、‘薄膜沉积’、‘金属化’、‘测试’、‘封装’……，每一个环节，我们明确了输入条件、核心工艺参数、输出标准。”

“更重要的是，”陈光远抬头，“我们统一了语言。什么是‘Css100’洁净度？不是‘很干净’，而是‘每立方英尺空气中，直径大于等于0.5微米的颗粒数不超过100个’。什么是‘温湿度容忍度’？光刻区是‘温度23±0.5°C，湿度45±5%RH’。什么是‘振动容许值’？核心区域地面振动速度必须小于0.5微米每秒。”

他顿了顿：“从前，每个单位有自己的‘行话’。长光所说‘对准精度’，半导体所说‘掺杂均匀性’，真空所说‘薄膜应力’。现在，我们有了共同的尺子和量杯。”

会议室里，专家们纷纷点头。

这或许是十天里最艰难的收获之一，让来自不同领域、有着不同思维习惯和技术语言体系的专家们，真正听懂彼此在说什么，并且达成共识。

“第二章，硅片流与厂区动线。”陈光远继续，“我们绘制了硅片从进厂到出厂的全流程物理路径和状态变化图。”

吕辰走到墙边，揭开覆盖在一张大图纸上的白布。

那是一张长达三米的厂区平面示意图，上面用不同颜色的线条标注着硅片的流动路径。

蓝色箭头代表原材料硅片进入，经过一道道工序，颜色逐渐变化，最终在另一端变成红色的成品芯片流出。

路径清晰、笔直、没有任何交叉和迂回。

“单向流，不可逆。”吕辰指着图纸，“这是铁律。原材料从东门进，成品从西门出。物流通道与人员通道完全分离。洁净度等级随着流程推进而逐步提高，不允许任何逆向污染。”

梁先生站起身，走到图纸前：“这张图，就是我们建筑布局的绝对依据。空间必须服从这个流动逻辑。任何为了‘美观’或‘方便’而违背这个逻辑的设计，都是对工程的亵渎。”

他的话语斩钉截铁，在座无人质疑。

“第三章，”陈光远的声音略显微妙，“边界条件与接口协议清单。”

他翻到总纲的中间部分：“这是本次研讨会的精华所在。我们第一次清晰地定义了每个工艺模块对上游的‘要求’，和对下游的‘承诺’。”

他念出几个例子。

“光刻组对材料组提出：‘来料硅片表面粗糙度需小于5纳米，表面氧化层厚度均匀性偏差不超过±3%，否则光刻对准精度无法保证。’”

“薄膜组对扩散组承诺：‘我方沉积的氮化硅薄膜可耐受后续最高950°C的扩散工艺，但高温持续时间不得超过30分钟。超过此限，薄膜可能发生龟裂或剥离。’”

“动力组对所有工艺车间承诺：‘微电网电压稳定度±0.1%，频率稳定度±0.01Hz，瞬间断电响应时间小于10毫秒，并通过飞轮储能或超级电容提供至少2秒的缓冲供电。’”

每念一条，相关领域的专家就会微微颔首。

这些“要求”和“承诺”，表面上是冰冷的参数，实则是责任与信任的契约。

它们把原本模糊的技术依赖关系，变成了可测量、可验证、可追责的明确条款。

“但也正因为明确了边界，”陈光远话锋一转，“我们才真正看到了那些隐藏在深处的、跨领域的矛盾。”

他的目光投向会议桌一侧：“最典型的，就是‘温度稳定’与‘振动控制’的矛盾。”

一名光刻专家苦笑着举手：“我们需要超稳定的温湿度环境，温度波动必须控制在±0.5°C以内。这需要大功率、高精度的空调机组。”

暖通专家李工接口：“但大功率空调机组本身是强振源。压缩机的振动、风机的振动、冷却水循环的振动……，这些振动会通过建筑结构传递到洁净室内。”

“而我们的光刻机，”光刻专家补充，“对振动极其敏感。工作台如果有几个微米的振动，几纳米的对准精度就无从谈起。”

会议室里沉默了片刻。

这是典型的多目标优化难题，要温度稳定，就要大空调；大空调产生振动；振动破坏光刻精度。

“我们争论了两天。”吕辰接过话头，“最后达成的妥协方案是——”

他指向总纲中的一页：“‘空调主机远离核心工艺区，布置在厂区外围独立机房。通过特殊设计的低振动风道和减振基座向核心区送风。核心区温度波动容忍值暂定为±0.5°C，振动指标通过建筑隔振、设备隔振、气流组织优化等多重手段，另行成立专题攻关组解决。’”

“这意味着，”梁先生缓缓开口，“建筑上要为那些巨大的风道预留空间，而且风道本身要有柔性连接和阻尼设计。增加了难度，但并非不可为。”

“也意味着，”暖通李工说，“我们要重新设计空调系统，可能要用多台小功率机组代替单台大机组，分散布置，降低单点振源强度。”

“还意味着，”光刻王工最后说，“我们接受了一个暂时的‘不完美’——在振动控制完全达标前，先保证温度稳定。但振动攻关必须同步启动，限期解决。”

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