第361章 基础确立（2/2）

“这是长光所正在调试的第一代光刻机原型。”谢凯指着图说，“采用汞灯光源，透过掩模版，把电路图案投影到涂有光刻胶的硅片上。设计分辨率是5微米，但实际调试中发现很多问题。”

“首先是光源不稳定。”谢凯的手指点在图纸的光源部分，“汞灯的强度有波动，导致曝光不均匀。他们试过加稳压电路，但效果有限。王先生，”他看向长光所的王先生，“您补充一下？”

王先生站起身，走到图前：“谢凯同志说得对。光源问题是我们目前最大的瓶颈。除了强度波动，还有光谱纯度问题，我们需要的是特定波长的紫外光，但汞灯是全光谱的，杂散光会影响分辨率。”

他顿了顿：“我们正在考虑技术方向，一是研发更稳定的汞灯电源系统；二是探索替代光源，比如激光，但激光技术刚起步，难度很大；还有一种办法就是采用电子束光蚀刻，能稳定在5微米，但从长远来看，必须要走光刻路线。”

谢凯继续汇报：“除了光源，还有机械问题。光刻机的工作台需要微米级的移动精度，但我们的丝杠、导轨加工水平不够，有回程间隙，导致对准误差。还有热变形，机器运行一段时间后，温度变化会引起结构微小的热胀冷缩，影响精度。”

他翻到下一页：“在哈尔滨工业大学，我们看到了希望。哈工大的精密机械实验室，正在研究超精密加工技术。他们用自制的研磨机，能把丝杠的螺距误差控制在1微米以内，这已经是国际先进水平了。更重要的是，他们有一种‘误差补偿’的思路，先测量出加工误差的规律，然后在控制系统中预先补偿。”

谢凯从文件夹里取出一小段金属件，递给旁边的专家传看：“这是哈工大加工的样品，表面光洁度达到V9级，几乎像镜子一样。”

他接着汇报大连化学物理研究所的光刻胶、沈阳金属研究所的特种金属靶材、哈尔滨锅炉厂的大型真空腔体焊接技术和吉林半导体厂的全手工锗晶体管生产线。

谢凯合上文件夹：“东北线的结论是，我国在精密机械、光学系统、化工材料方面有一定基础，但与国际先进水平差距明显。最大的问题是‘系统性’，单个零件可能做得不错，但组装成整机，性能就大打折扣。我们需要的是系统集成能力，是各个部件之间的精密配合。”

谢凯汇报完后，吕辰站起身走到台前。

他打开公文包，取出几个小布袋、玻璃瓶和文件。

他的汇报风格更加务实，数据密集：“西北、西南线的调研，目标是解决‘有米下锅’的问题。集成电路需要高纯度材料硅、锗、镓、砷，还有各种金属。如果这些原材料受制于人，‘星河计划’就是空中楼阁。”

吕辰取出一份报告：“在兰州大学我们有两个重要发现。一是放射性同位素示踪技术，可以用于研究杂质在硅材料中的扩散行为，为提纯工艺提供微观机理指导；二是极端环境测试技术，他们用钴-60放射源和小型质子加速器，模拟太空环境，测试电子器件的抗辐射能力，这对未来航天级芯片研发至关重要。”

“在兰州，我们还访问了510所。”他拿起一个玻璃瓶，里面装着几块黑色的材料，“这是KM-3空间环境模拟器的部件材料。510所有国内唯一的大型真空-温度-辐射综合模拟装置，可以为航天级芯片提供地面试验条件。我们已经初步达成合作意向，联合制定《星载集成电路空间环境测试规范》。”

他放下瓶子，继续道：“金川806厂，国家镍钴生产基地。这里的高纯镍制备工艺已经能达到99.9%的纯度，具备提升到99.99%的基础。更重要的是，工人在电解、浮选等环节积累了丰富的实操经验，这些经验数据，是任何书本上都学不到的。”

吕辰取出一小块银白色的金属：“这是他们给我们的高纯镍样品。我们计划与他们共建‘高纯镍钴试验生产线’，专门为‘星河计划’供应金属布线材料。”

会议室里，专家们传看着样品，低声议论。

“宝鸡市给了我们人才惊喜。”吕辰翻开一页名单，“我们去的时候，正逢全市技术大比武，涌现出一批技术骨干，有掌握薄壁焊接防变形技术有焊工；有精通继电器逻辑电路的电工；有能手工磨出λ/10精度的透镜光学研磨老师傅……，这些人在各自的领域，都是‘大国工匠’级别的。”

他顿了顿，声音变得郑重：“但西南线最重要的发现，还是在云南和贵州。”

吕辰取出一个牛皮纸信封，小心地展开里面的手绘地图，又拿出贵研所的化验报告，以及贵铝的合作意向书。

“在昆明，一位不愿具名的老先生提供线索，他在会泽的一个老铜矿坑里找到了一块标本。昆明贵金属研究所三次独立分析，确认锗含量0.018%，赋存在闪锌矿中，选矿富集性良好。伴生铅4.3%、锌6.1%，完全具备工业开采价值。”

会议室里响起一阵骚动，锗！这是半导体材料的重要元素！

“更详细的数据是，”吕辰念着报告，“如果通过浮选获得50%品位的锌精矿，锗品位可富集至0.1%以上。目前，由地质部、冶金工业部、云南省联合组成的勘探队已经出发，前往会泽进行实地勘探。”

他放下报告，拿起另一个玻璃瓶，里面装着灰白色的粉末：“这是贵州铝业公司的发现，安顺的一个铝土矿伴生的镓，存量约5到6公斤，纯度99.9%。镓是砷化镓半导体的关键材料，对高频器件、微波器件、发光器件有不可替代的作用。”

他最后总结：“西南线的结论是：我国西南地区蕴藏着丰富的钒、钛、锗、镓等战略资源，完全可以支撑集成电路关键材料的自主供应。我们已经初步建立起从矿山到实验室的材料供应链雏形。”

吕辰回到座位，会议室里安静了几秒钟。

然后，夏先生带头鼓掌，掌声起初稀疏，随后越来越响，持续了将近一分钟。

刘星海教授起身走到黑板前：“同志们，七个目标三条线，拼在一起，就是一幅完整的图景！”

“通过这次调研，我们知道‘怎么造元件’”，他画了一个方框，里面写着‘晶体管工艺、硅材料提纯、真空技术……’

“我们也弄明白‘用什么工具造’”，他又画了第二个方框，在里面标注上‘光刻机、精密机械、化工原料……’

“还解决了‘用什么来造’”，他画了第三方框，标注‘镍、钴、锗、镓、钒、钛……”。

他转过身，面向所有人：“这就是我们第二阶段调研的成果，这说明，我们中国已经具备了集成电路全链条的雏形！我们不是从零开始，我们有基础，有人才，有资源！”

夏先生也激动地站起来：“刘教授说得对！我以前总觉得集成电路太遥远，是因为我只看到计算所这一亩三分地。但今天听了这三条线的汇报，我看到了全国的力量，这些力量如果整合起来，完全有能力做成这件事！”

数学所的陈教授道：“各个子系统都已经存在，现在需要的是系统集成，是优化整体性能。”

黄昆团队的张老师点头：“半导体物理方面，我们已经有理论基础。现在有了材料、工艺、设备的具体数据，可以建立更精确的物理模型，指导实际工艺开发。”

长光所王先生感慨道：“有了高纯度的锗、镓，再加上我们的光学系统，完全可以做出性能优异的红外探测器、微波器件……”

会议室里的气氛彻底活跃起来。

专家们你一言我一语，讨论着技术细节，提出合作建议，规划下一步工作。

刘教授抬手示意大家安静：“这次的调研，让我们看到了希望，也明确了方向。接下来，我们要做三件事。”

他竖起第一根手指：“第一，立即进行技术整合工作，把三条线的调研成果系统化、条理化，制定详细的技术路线图和时间表。”

第二根手指：“第二，筹备第二届百工联席会议期间的‘星河计划’全体会议。要把今天在座的各位专家，还有全国相关单位的代表都请来，正式成立各个专业组，材料组、工艺组、设备组、设计组、测试组……，明确分工，落实责任。”

第三根手指：“第三，启动首批攻关项目，不能等所有条件都成熟，要边建设边攻关。集中力量攻克5微米工艺，争取在明年上半年拿出样机。”

会议又持续了两个小时。

专家们分组讨论，确定了首批攻关方向，划分了各单位的分工，拟定了资源调配方案。

散会时，已是傍晚，暮色四合。

走出计算所大楼，吕辰骑上自行车，沿着长安街向西行去。

街道两旁，灯火渐次亮起。