第394章 晶片良率百分百,没有一个废品,零缺陷,全良率???(2/2)
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到第六天的时候。
刘工半夜三点把江辰的电话打爆了。
江辰当时正在宿舍睡觉,被手机震醒之后眯著眼接起来,还没开口。
刘工的声音就像炸雷一样从听筒里轰出来,嗓子都劈叉了:
“江院士!!!100%!!!”
“到了!!!百分百!!!我们做到了!!!”
江辰把手机拿远了一点:“什么百分百”
“良率!!!晶圆良率!!!100%!!!百分百!!!”
“每一片晶圆上的每一颗晶片都是好的!!!没有一个废品!!!零缺陷!!!全良率!!!”
电话那头传来一阵嘈杂的欢呼声。
夹杂著曹所长喊“我的速效救心丸呢”。
张工喊“快给江院士开视频”。
陈工喊“我的眼镜又掉了”的声音。
江辰沉默了片刻,然后笑了:“挺好。”
刘工在电话那头差点破音:“挺好江院士!!!这是100%良率!!!”
“asl的7n製程良率最高也就85%到92%!!!”
“它们的5n和3n到现在都还没正式量產,理论良率最多也就95%!!!”
“我们1n,100%!!!这不是挺好,这是逆天!!!”
“我知道。”
江辰的语气依旧平稳,“辛苦了,明天我去看看。”
掛了电话。
宿舍里陈小胖的呼嚕声还在震天响。
李默从上铺探出头,推了推眼镜:“江神,是光刻机那边的消息”
“嗯,良率到100%了。”
李默沉默了片刻,然后说了一句:
“我刚才查了一下,这个数字意味著从今往后,全球半导体行业的良率標杆,从asl换成了我们。”
“嗯,挺好的。”
“你的『挺好』,是別人的『我这辈子值了』。”
……
第二天一早。
江辰到了研发中心。
曹所长顶著一双熬得通红的眼睛迎上来,手里攥著厚厚一摞良率数据报表,脸上的表情像是中了彩票又怕別人知道。
他把报表往江辰手里一塞,声音沙哑得像砂纸:
“江院士,您自己看。”
“从第一片到昨天最后一片,每一片晶圆的良率记录都在这里。
从95%到100%,只用了不到一周。”
江辰翻了翻报表,每一页的数据都平稳得让人心安。
他把报表还给曹所长:
“后续稳定性的测试方案做了吗”
“做了!按您之前给的方案。”
“接下来我们会连续跑几周的老化测试和极限工况测试,確保產线稳定之后再正式转入量產。”
“很好。”
曹所长顿了顿,又补了一句:
“江院士,说实话,我搞了这么多年光学工程,从来没见过这种情况。”
“良率100%,这意味著什么”
“意味著这台光刻机的整体设计和製造工艺,已经完美到了没有任何短板。”
“光源、物镜、工件台、控制系统、真空系统、光刻胶配方……”
“每一个环节都达到了理论最优值。这不是某一项技术领先,这是全链条的碾压。”
他越说越激动,唾沫星子都快喷出来了:
“asl对外宣称的良率数据,7n製程是85%到92%,5n和3n根本还没量產,理论目標也就是90%到95%。”
“我们1n直接干到100%。”
“比他们最先进的製程领先好几代,良率还高出好几个百分点。”
“这要是传出去,整个半导体行业都得地震。”
“不是地震,是海啸。”刘工在旁边纠正道。
“对,海啸,而且是那种能直接把某些公司拍死在沙滩上的海啸。”
……