第135章 诸君,且听龙吟!(2/2)
如今,两台38n浸没式光刻机已经安装完成——
一台由崇明科技自主研发组装;
另一台……无人追问来源,只知它“本就该在这里”,所有档案、图纸、验收记录一应俱全,仿佛从项目立项之初便存在。
连海关、工信、审计都查不出任何异常——系统之力,已悄然抹平了逻辑的褶皱。
此刻,中央派来的观察组已就位:
国家02专项总指挥
科技部副部长;
军委装备发展部代表;
中科院院长亲自坐镇。
所有人都屏住呼吸。
赵崇明站在控制台前,一身深色西装,神情沉静。
他看了眼林振邦老人颤抖的手,轻声问:“林老,可以开始了吗”
林振邦深深吸了一口气,眼中泛著泪光,却用力点头:“开……开机!”
赵崇明转身,按下红色启动键。
嗡——
低沉而稳定的轰鸣声从光刻机內部传来,如同巨龙甦醒。
雷射源点亮,193n深紫外光束穿过精密透镜组;
超纯水浸没系统启动,液膜均匀覆盖硅片表面;
纳米级工件台以0.1微米精度移动,定位误差小於3纳米。
大屏幕上,实时监控画面跳动:
曝光开始……
套刻精度:2.8n(目標≤4n)
线宽均匀性:±1.1n(目標±1.5n)
良率预测:92.7%
时间一分一秒过去。
十分钟后,机械臂缓缓托出第一片测试晶圆。
检测仪扫描完成——
图形完整,线宽38.2n,无断线、无桥接、无畸变。
成功了!
“成了!!”
吴启明突然嘶吼一声,老泪,一把抱住身边的周秉义。
整个大厅瞬间沸腾!
科研人员相拥而泣,年轻的工程师跪在地上,双手捂脸,肩膀剧烈抽动。
军方代表摘下眼镜,悄悄擦拭眼角。
科技部副部长快步上前,紧紧握住赵崇明的手,声音哽咽:“小赵……你……你们给国家,爭了一口气啊!”
赵崇明客气的开口道:“领导,您说笑了,这哪里是我一个人的功劳,这是大家集体的努力,不然,是没有这么容易的!”
而林振邦没有动。
他颤巍巍地走到晶圆前,伸出枯瘦的手,轻轻抚摸那冰冷的硅片表面,仿佛在触碰一个民族百年的梦。
忽然,他双膝一软,竟要跪下。
赵崇明眼疾手快,一把扶住:“林老!您不能跪!该跪的是我们——是我们晚辈,让您等了太久!”
林振邦抬起头,满脸泪水,嘴唇哆嗦著,终於喊出那句埋藏了一生的话:
“艹……我林振邦活了八十六年,
今天,
终於看到——
华夏自己的光刻机,
刻出了自己的芯!”
话音未落,老人嚎啕大哭,像一个终於等到父亲归家的孩子。
全场肃立,无人言语。
唯有那台光刻机,仍在低鸣,
如龙吟,
如钟响,
如一个古老文明,在沉默百年后,
第一次向世界发出自己的声音。