第380章 光刻机专项完成（2/2）

整个控制室里鸦雀无声，只有键盘敲击的声音和那低沉的流水声交织在一起。

第一次曝光完成。

清洗。

沉积。

平坦化。

第二次曝光……

时间一分一秒地过去。从上午烈日当空，到黄昏日落西山。

对于普通人来说，这只是几个小时。但对于在场的工程师来说，这简直比一个世纪还要漫长。

每一次曝光，都像是在走钢丝。四重曝光，就是要在钢丝上连翻四个跟头，还要稳稳地落在同一个点上。

部长一直没有坐下，他的腿已经站得有些发麻，但精神却处于一种极度亢奋后的疲惫状态。

第四次曝光完成！

进入刻蚀阶段！

离子注入完成！

退火完成！

当最后一到工序完成的信号灯亮起时，已经是晚上八点。

第一批十二片晶圆，被机械臂缓缓送出了核心腔室，装入了特制的黑色防静电晶圆盒中。

但这还不是结束。

真正的审判，在测试车间。

走，测试车间。林星石转身，第一个走出了控制室。

测试车间里，气氛比控制室还要凝重。

几名身穿全封闭防尘服的测试工程师，正小心翼翼地将晶圆放入自动测试机台。

探针卡扎下的瞬间，屏幕上开始跳出一行行红绿相间的代码。

每一个绿色的，都代表一个功能模块正常工作。每一个红色的，都代表着良率的损失。

周振死死地盯着屏幕，嘴唇微微颤抖。他在EDA行业干了一辈子，做过无数次流片，但从来没有像今天这样紧张过。

一分钟。

五分钟。

十分钟。

测试机台的指示灯终于由闪烁变成了常亮。

一份详细的测试报告自动打印出来。

测试总监拿起报告，手抖得像是在筛糠。他看了一眼那个最终的数字，喉咙里发出了一声奇怪的声响，像是哽咽，又像是尖叫。

他猛地抬起头，虽然隔着面罩看不清表情，但那双眼睛里全是泪水。

报告！他的声音嘶哑，带着破音，首批星耀TPUv4晶圆，电性测试完成！功能完整！

良品率……他深吸一口气，用尽全身力气喊了出来，良品率17%！

静。

死一般的寂静。

所有人都愣住了。

17%？

这个数字放在成熟工艺里，简直就是灾难，是要被开除的事故。

但在这种全新的、魔改的、挑战物理极限的工艺首秀上，在四重曝光这种地狱难度的叠加下，17%意味着什么？

意味着路通了！

意味着只要后续优化工艺窗口，调整参数，良率爬坡到50%、80%只是时间和成本的问题！

成了……周振身子一软，差点瘫倒在椅子上，真的成了……

下一秒，巨大的欢呼声几乎掀翻了屋顶。

平日里稳重的工程师们相拥而泣，有人把帽子扔上了天，有人跪在地上嚎啕大哭。

部长一把抓住了林星石的手。那双惯于在行政场合挥斥方遒的手，此刻却颤抖得厉害。

林星石……林院士！部长眼眶通红，语无伦次，你立大功了！你给国家立了大功了！

当天晚上，七点整。

两位主持人身着正装，神情庄重中带着难以掩饰的喜悦。

“

“我国在集成电路制造领域取得历史性突破！由科技部牵头，华夏工程院院士、星火科技总裁林星石担任总设计师的国家极紫外光刻机重大专项，今日在南都通过验收。”

画面随即切换到一座极具科幻色彩的巨大工业建筑。镜头扫过那如血管般奔涌的液冷管道，扫过精密的双工件台，最后定格在那枚刚刚诞生的晶圆上。

画外音激昂有力：“在林星石院士提出的工厂即机器创新理念指导下，科研团队集智攻关，成功攻克了浸没式光刻、多重图形化曝光等一系列核心技术难题。”

“经专家组现场测试，首批采用国产极紫外光刻机生产的等效7纳米制程芯片，各项性能指标均达到国际先进水平。”

“这标志着，我国已成功打破国外技术封锁，掌握了高端芯片制造的全套核心技术，正式跨入全球半导体产业第一梯队！”