第136章 近接式光刻机成功,集成电路突破!(1/2)
第136章近接式光刻机成功,集成电路突破!
送走沈宏后,江阳和苏筱閒聊片刻。
紧接著。
他便回到书房,开始看书学习。
苏筱没有离开。
而是搬了张小凳子,坐在门外。
然后从隨身的挎包中。
拿出书本。
一虽说苏筱现在已经是江阳的助理。
但却並没有因此。
就放弃原本的研究,反而更加地刻苦和努力。
书房內,江阳看向门外。
——
苏筱十分专注。
不过片刻,人就已经完全沉浸在书本中。
他放下心。
打开瑶光,开始查资料。
接下来的时间。
江阳一边“协助”五院df—2的预研。
一边兼顾其他研究。
在具体方案上。
他也並非单纯的生搬硬套,复製黏贴。
而是能替代就替代。
没有替代的。
——
用瑶光也要想出办法来替代。
毕竟华国的工业基础太薄弱,只能稳扎稳打。
盲目冒进。
只会做出华而不实的东西。
一个月后,半导体研究所。
实验室內。
华国第一台近接式光刻机组装工作。
进入最终收尾阶段!
这段时间来。
在解决最关键的光学系统后。
江阳带领研究团队。
——
转移重心。
针对精密机械系统、对准与套刻系统、光刻胶涂覆与处理问题。
进行集中技术攻关。
因为先前已经让王寿吾带人研究。
有一定理论的支撑。
所以江阳能够很放心地往外掏东西,推动近接式光刻机的迅速完成。
当然。
即便如此,搞出完整版的近接式光刻机,还是不可能。
很多设计和结构上。
江阳都通过瑶光,经过阉割和简化。
不过虽说精度下降。
但至少,能先解决有没有的问题。
在江阳的指挥下。
一项项步骤。
有条不紊地进行著。
他身边的王寿吾、林嵐因和黄坤等人。
都紧张得手心冒汗。
这种情况,一直持续到完成最后的测试。
负责组装的王志坚。
整理数据后。
走到江阳的面前,正声道:“江教授,成功了!”
听到这个消息。
所有人的脸上,终於浮现出笑容。
王寿吾狠狠地挥了挥拳头。
一旁的王大严。
则是朝著江阳竖起一个大拇指,道:“不愧是江教授啊!”
他说完后。
王寿吾等人也反应过来,纷纷开口道:“没错,多亏江教授,才能研製出近接式光刻机!”
“有了它,老大哥和帝,恐怕都要被我们狠狠甩在身后!”
“不是恐怕,是一定,他们的光刻机,恐怕连我们先前的都比不上!”
每个人的眼中。
都满是兴奋。
但江阳反倒很平静,问道:“测试的数据怎么样”
王志坚道:“光强波动≤±5%、清晰成像2μ线宽————”
他不断地。
念出各项数据。
每说出一个,大家脸上的笑容,都更深一分。
江阳听完后,道:“雷射干涉仪刚成功,工作檯运动精度,还有提高空间。
“使用的光刻胶。”
“目前也只是勉强满足需求,显影后测量残留胶————”
他说著说著。
忽然感觉周围非常安静。
抬头看去。
只见每个人,都拿出纸笔,开始记录。
见状。
江阳怔了怔,转而道:“但这些都可以慢慢去突破。”
“我们现在。”
“在世界半导体领域,应该处於领先地位了。”
听到最后的这句话。
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