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第136章 近接式光刻机成功,集成电路突破!(1/2)

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第136章近接式光刻机成功,集成电路突破!

送走沈宏后,江阳和苏筱閒聊片刻。

紧接著。

他便回到书房,开始看书学习。

苏筱没有离开。

而是搬了张小凳子,坐在门外。

然后从隨身的挎包中。

拿出书本。

一虽说苏筱现在已经是江阳的助理。

但却並没有因此。

就放弃原本的研究,反而更加地刻苦和努力。

书房內,江阳看向门外。

——

苏筱十分专注。

不过片刻,人就已经完全沉浸在书本中。

他放下心。

打开瑶光,开始查资料。

接下来的时间。

江阳一边“协助”五院df—2的预研。

一边兼顾其他研究。

在具体方案上。

他也並非单纯的生搬硬套,复製黏贴。

而是能替代就替代。

没有替代的。

——

用瑶光也要想出办法来替代。

毕竟华国的工业基础太薄弱,只能稳扎稳打。

盲目冒进。

只会做出华而不实的东西。

一个月后,半导体研究所。

实验室內。

华国第一台近接式光刻机组装工作。

进入最终收尾阶段!

这段时间来。

在解决最关键的光学系统后。

江阳带领研究团队。

——

转移重心。

针对精密机械系统、对准与套刻系统、光刻胶涂覆与处理问题。

进行集中技术攻关。

因为先前已经让王寿吾带人研究。

有一定理论的支撑。

所以江阳能够很放心地往外掏东西,推动近接式光刻机的迅速完成。

当然。

即便如此,搞出完整版的近接式光刻机,还是不可能。

很多设计和结构上。

江阳都通过瑶光,经过阉割和简化。

不过虽说精度下降。

但至少,能先解决有没有的问题。

在江阳的指挥下。

一项项步骤。

有条不紊地进行著。

他身边的王寿吾、林嵐因和黄坤等人。

都紧张得手心冒汗。

这种情况,一直持续到完成最后的测试。

负责组装的王志坚。

整理数据后。

走到江阳的面前,正声道:“江教授,成功了!”

听到这个消息。

所有人的脸上,终於浮现出笑容。

王寿吾狠狠地挥了挥拳头。

一旁的王大严。

则是朝著江阳竖起一个大拇指,道:“不愧是江教授啊!”

他说完后。

王寿吾等人也反应过来,纷纷开口道:“没错,多亏江教授,才能研製出近接式光刻机!”

“有了它,老大哥和帝,恐怕都要被我们狠狠甩在身后!”

“不是恐怕,是一定,他们的光刻机,恐怕连我们先前的都比不上!”

每个人的眼中。

都满是兴奋。

但江阳反倒很平静,问道:“测试的数据怎么样”

王志坚道:“光强波动≤±5%、清晰成像2μ线宽————”

他不断地。

念出各项数据。

每说出一个,大家脸上的笑容,都更深一分。

江阳听完后,道:“雷射干涉仪刚成功,工作檯运动精度,还有提高空间。

“使用的光刻胶。”

“目前也只是勉强满足需求,显影后测量残留胶————”

他说著说著。

忽然感觉周围非常安静。

抬头看去。

只见每个人,都拿出纸笔,开始记录。

见状。

江阳怔了怔,转而道:“但这些都可以慢慢去突破。”

“我们现在。”

“在世界半导体领域,应该处於领先地位了。”

听到最后的这句话。

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