第1142章 最精密的学问(1/2)
文化部后院。
一间不对外开放的会客室。
窗外是几竿翠竹,屋里只有两杯清茶。
钱院士坐在红木圈椅里,腰杆挺得笔直。
他看著对面的张红旗。
“那份报告,我看过了。”
老头声音不高,每个字都砸在桌上。
“写得很好,很有远见。”
“但是。”
老头话锋一转。
“光有远见,没用。”
“半导体,光子学,这是硬骨头,是天底下最精密的学问。”
“不是靠钱,靠想像力,就能搞出来的。”
他盯著张红旗的眼睛,一字一顿地问。
“你,一个拍电影的。”
“懂这些吗”
这个问题,很尖锐。
甚至有点不留情面。
张红旗没接话。
他从隨身的公文包里,拿出一张纸。
一张摺叠起来的a3大小的绘图纸。
纸张边缘已经有些毛糙。
张红旗把纸,在桌上摊开。
推到钱院士面前。
那是一张手绘的草图。
用铅笔画的线条清晰,標註密集。
钱院士低头看去。
只一眼,他的目光就定住了。
图上画的是一个极其复杂的机器结构。
分成了四个核心模块。
张红旗的手指,在图上轻轻点过。
“光源。”
“物镜系统。”
“掩膜台。”
“硅片台。”
钱院士的呼吸,停了一下。
他当然认得出来这是什么。
这是光刻机的核心架构。
但让他心惊的不是这个架构图本身。
而是图上那些密密麻麻的手写的標註。
全是英文和德文的缩写,夹杂著公式和参数。
“光源:lpp-euv,功率要求大於250w,能量转换效率大於5%。”
“物镜:13片非球面反射镜,材料,ule玻璃,表面粗糙度小於0.1纳米。”
“掩膜台:磁悬浮,同步运动精度小於2纳米。”
钱院士的眼睛,越瞪越大。
这些参数,每一个,都像一颗子弹。
精准地打在他几十年的科研认知上。
国內现在连duv都还在理论摸索阶段。
这张图,直接跳到了euv。
而且,给出的指標,比他从国外老同学那里听到的最前沿的实验室数据,还要激进,还要精確。
这根本不是一份方案。
这是一份来自未来的施工图纸。
钱院士的手,下意识地伸过去。
想要抚摸那张图纸。
手指,却在半空中停住了。
有点抖。
他的视线,落在了图纸的一个角落。
那里画著一个反射镜组的截面图。
旁边有一行小字。
“o/si多层膜反射镜,每层厚度3-4纳米,总层数大於80层。”
老头感觉自己的后脑勺,被人用锤子狠狠砸了一下。
多层反射镜。
这个概念,只在国际最顶级的几个光学实验室里,有过最模糊的设想。
连篇正式的论文都没有。
可这张图上,不仅有。
连材料,厚度,层数,都写得清清楚楚。
就像画图的人,亲手做出来过一样。
还没等他从震惊中缓过来。
他又看到了光源部分的另一条標註。
“等离子体激发高能光子。”
钱院士靠在椅背上。
半天没喘过气来。
他彻底明白了。
之前看的那份报告,还有那份嚇人的实验室建设方案。
背后,都有这张图的影子。
这不是外行人的异想天开。
这是內行到了极致,高到了云端之后的俯瞰。
“这些东西……”
老头的声音,有些乾涩。
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