第374章 发布会(上)(2/2)
机身上的云雷纹突然喷出一股肉眼不可见的气流。
那是高压氮气屏障。
在机器周围形成了一个绝对的正压区。
所有的灰尘,在靠近机器半米范围内,就被这股气流无情地吹飞。
这就是“神机篇”里的“避尘阵”。
古人用它来保存珍贵的经书。
贺凡用它来造光刻机。
“滋滋滋……”
机器内部,紫光隐现。
大屏幕上,实时投射出机器内部的监控画面。
只见那束极紫外光,如同一把精细的手术刀。
在飞速旋转的晶圆上疯狂舞动。
速度快得看不清。
但每一次落刀,都精准无比。
没有震动。
没有噪音。
只有那种令人着迷的、充满韵律的机械美感。
“这速度……”
杰克手里的相机放下了。
嘴巴张大。
“太快了……”
“ASML的机器曝光一片要30秒,这……这才几秒?”
“五秒?十秒?”
王德发的冷汗下来了。
他死死抓着轮椅扶手。
“假的!肯定是录像!”
“这大屏幕上放的是提前做好的动画!”
“不可能有这么快的机器!”
“这就是魔术!是障眼法!”
三分钟。
仅仅过了三分钟。
“叮。”
一声清脆的提示音。
出料口打开。
机械臂托着那片刚刚经过曝光、显影(机器内置一体化显影模块)的晶圆,缓缓伸了出来。
晶圆表面,闪烁着迷离的彩虹光泽。
那是纳米级电路结构对光线的衍射。
贺凡拿起晶圆。
依然没有戴手套。
他像拿飞盘一样,随手拿着那片价值连城的晶圆,走到了舞台边缘。
直接递到了王德发面前。
“王教授。”
“您不是要打假吗?”
“验验货?”
王德发看着近在咫尺的晶圆。
手哆嗦得像帕金森。
他不敢接。
“我不验!”
“谁知道你这是不是提前准备好的道具?”
“我要权威机构检测!”
王德发转头看向旁边的杰克。
“让SGS(瑞士通用公证行)的人上来!”
“还有,把那台便携式电子显微镜搬上来!”
“我们要现场看结构!”
“如果里面是一团乱麻,你就等着坐牢吧!”
贺凡耸了耸肩。
“随意。”
很快。
几个穿着白大褂的老外,提着精密的检测仪器走了上来。
他们是SGS的高级检测员,也是这次被西方媒体特意请来“见证谎言”的。
领头的一个大胡子,一脸严肃地接过晶圆。
“贺先生,请注意,我们的检测是不可逆的。”
“我们会随机抽取切片,进行断面扫描。”
“任何瑕疵都逃不过我们的眼睛。”
贺凡做了个“请”的手势。
大胡子把晶圆放进检测台。
探针落下。
电子束扫描开始。
所有人的目光都集中在舞台侧面的另一块大屏幕上。
那是检测仪的直出画面。
王德发伸长了脖子,眼珠子都要瞪出来了。
他在等。
等那一团模糊的图像出现。
等贺凡身败名裂的那一刻。
屏幕闪烁了一下。
图像生成。
第一眼,是宏观结构。
整齐。
整齐得令人发指。
每一个功能分区,每一个逻辑门电路,排列得像是阅兵方阵。
“这……”
大胡子的手抖了一下。
“放大!”
杰克在台下喊道。
“看微观!看线宽!”
倍率调整。
1万倍。
2万倍。
5万倍。
原本肉眼不可见的线条,变成了巨大的沟壑。
所有人都屏住了呼吸。
只见屏幕上。
那一根根导线,边缘锐利如刀削,平直如尺画。
没有断点。
没有毛刺。
甚至连光刻胶的残留都没有。
“量!”
王德发声音嘶哑地吼道。
“量宽度!”
大胡子咽了口唾沫,移动标尺。
卡住两根导线的间距。
数据跳动。
那一瞬间,大胡子的表情像是见了鬼。
他揉了揉眼睛,以为仪器坏了。
又换了一个点测量。
再换一个。
连续测了十个点。
数据在大屏幕上滚动列出:
“Pot1:5.00n”
“Pot2:5.01n”
“Pot3:4.99n”
……
“Average:5.00n”
“Variance(方差):0.0001”
“OhyGod...”
大胡子猛地退后一步,差点撞翻了身后的仪器。
他双手抱头,盯着屏幕,发出一声不可置信的尖叫。
“这不可能!”
“这绝对不可能!”
“ASML最顶级的机器,方差都在0.5左右!”
“这……这是完美的5纳米!”
他猛地转过头,看着贺凡,眼神中充满了恐惧和敬畏。
就像是看着一个外星人。
“贺先生……”
“这台机器的精度……”
“比ASML的还要高!”
“不!是高出了整整一个时代!”