第367章 集成电路？能做（1/2）

参观演示在激动与振奋中结束。

代表们回到报告厅，心情久久不能平静。

上午剩下的时间，将由刘星海教授代表“星河计划”指挥部和调研协调组，向大会做全面、系统的调研成果汇报。

刘星海教授再次走上讲台。

与刚才参观时的兴奋不同，此刻他的表情严肃而凝重。

接下来的汇报，将决定“星河计划”能否从“可行性验证”阶段，真正转向“规模化攻坚”阶段。

他需要向全国的支持者们，交出一份扎实的“家底清单”，同时也要坦诚面临的“悬崖峭壁”。

“尊敬的各位领导，各位专家，同志们。”刘星海的声音透过麦克风，清晰地传到每个人耳中，“刚才大家看到的二维卡和‘红星一号’计算器，是我们‘星河计划’结出的第一茬果实，虽然青涩，但证明了土壤和种子的力量。而过去半年多，我们奔波数万里，进行了全国调研，所做的一切，就是为了摸清我们这片‘土壤’到底有多厚实，为了找到培育更多、更好果实的路径。”

他打开厚厚的讲稿，背后的大型幕布上，出现了“星河计划全国技术调研总览”的标题。

“我们的调研，分了两个阶段，七个核心方向，三条主线推进。”刘星海开始系统性地阐述，“第一阶段，是‘关键技术节点突破与可行性验证’。我们聚焦于当时在百工大会上发现的四项边缘技术，以及与之相关的核心单位，深入进去，看看到底有没有可能把它们‘捡起来’，拼凑成集成电路制造的雏形链条。”

他调出第一阶段调研的总结图。

“第一站在中科院半导体所，我们的‘材料基石’。成果是：他们能用区熔法提纯硅材料，实验室纯度最高能达到6个9能拉制直径一英寸的硅单晶，两英寸的成功率低于10%。他们有自制的超纯水系统、化学气相沉积设备。听起来有基础，对吧？”

刘星海话锋一转：“但问题同样尖锐，6个9的纯度，对于未来的大规模集成电路，只是入门门槛。7个9乃至更高，他们目前难以企及，部分原因是检测手段跟不上。大直径硅锭制备中，热场不均匀、熔体对流不稳定，导致晶锭缺陷率高、直径控制难。更重要的是，他们的工艺严重依赖老师傅的‘手感’和‘经验’，缺乏系统化的工艺参数记录和分析，难以实现标准化、可复制的生产。”

台下半导体所的王守方教授微微低头，但目光坚定，这些问题他们自己更清楚。

“但我们不是去挑剔的。”刘星海继续说，“我们是去找合作路径的，调研组的同志提出了两条建议，第一，用‘光学记录装置’将老师傅观察熔炼炉火候的‘经验’转化为可记录的光强数据，长期积累，寻找工艺规律。第二，用透明玻璃棒和低熔点金属进行‘模型实验’，模拟熔体流动和热场分布，指导真实工艺优化。半导体所的同志们接受了这些建议，并且，‘星河计划’也会协调专业的学生力量，协助开始数据记录与分析。这就是合作，补上他们缺乏系统研究方法的短板。”

王守望方教授抬起头，脸上露出了感激和振奋的神情。

“第二站是长光所，我们的‘画笔与标尺’。”刘星海的语气带着敬意，“长光所的第一代光刻机原型，已经能稳定实现5微米线宽的图形曝光。这非常了不起！但是，距离集成电路所需的2微米、1微米乃至更高精度，差距是客观存在的。”

他列出了长光所面临的问题清单，光源稳定性、物镜像差、工作台定位精度与重复性、振动与热漂移、光刻胶标准化、套刻误差控制……，每一个都是硬骨头。

“我们没有好高骛远。”刘星海强调，“我们和长光所的同志们坐下来，确定了最务实的技术路线，先解决有无，再追求好坏。把光刻组的第一阶段目标，正式定为采用5微米工艺，实现‘红星一号’计算器模块化方案的制造与系统集成。并且制定了详细的时间表。同时，凝练出了《光刻及关联技术关键问题与需求清单》，发往哈工大、上海机床厂、武水院等相关协作单位，明确了各自的任务。”

长光所的王先生、陈光远在台下微微点头。

这份清单，是他们和调研团队熬了几天才反复推敲出来的，是未来攻坚的“作战地图”。

“调研组的同志还提出了‘模拟实验与数字孪生’的思路，以及‘标准化与模块化’的方法论，强调要把老师傅的‘手感’变成可量化、可传授的工艺规范。这些思想，正在被长光所吸收采纳。”

接着，刘星海依次汇报了哈工大（存储与精密机械）、北京真空所（薄膜沉积）、西军电（高可靠标准与工艺）、武水院（超纯净微电网）、上海感光厂（光刻胶攻关）、上海试剂总厂与有机所（蚀刻）等第一阶段的调研成果与合作确立情况。

每一个单位，他都既充分肯定其现有的技术基础与人员奉献，也坦诚指出其面临的瓶颈与短板，更重点说明了调研后达成的具体合作意向、成立的联合小组、明确的攻关方向。

这不是一份成绩单，更像是一份经过详细勘察后绘制的“资源地图”与“合作网络图”。

“第一阶段的调研，让我们确信，”刘星海总结道，“集成电路制造所需的关键技术环节，在中国都有萌芽，都有扎根于实际工作的老师和工人在默默耕耘。我们缺的不是从零开始的天才，缺的是把这些分散的‘火种’汇聚起来、形成‘燎原之势’的系统组织、资源投入和技术整合。”

他的目光扫过台下来自天南海北的代表们：“而‘星河计划’，就是要做这个汇聚者和组织者。”

稍事休息后，刘星海开始汇报第二阶段，也就是刚刚结束的这次大规模、系统性调研。

这次调研分三路进行，目标是构建覆盖材料、设备、工艺、测试、基础设施的完整链条雏形。

他首先依次介绍了宋颜教授和谢凯负责的华东华中线、东北华北线，聚焦电子元器件、化学品、精密加工、设备制造、化工原料、特殊工艺的主要发现和达成的合作意向，肯定了这两条线在完善产业链“中下游”环节上的贡献。

然后，他重点汇报了吕辰负责的西北西南线调研成果。

这条线被寄予厚望，目标是解决“有米下锅”的战略资源问题和一些特殊的工艺、测试能力。

幕布上展示了吕辰团队的行程图：北京→兰州→金川→宝鸡→成都→攀枝花→昆明→贵阳→北京。

“兰州大学，”刘星海念道，“给了我们两个惊喜。一是放射性同位素示踪技术，可以让我们‘看见’杂质在硅材料中的扩散行为，从微观机理上指导提纯工艺，这是理论深化的利器。二是极端环境测试技术，他们用钴-60和小型质子加速器模拟空间环境，可以为未来航天级、高可靠芯片的地面测试提供条件。我们已经达成合作，将成立专门的技术组。”

“金川806厂，他们的高纯镍已经能达到99.9%，并且工人在电解、浮选环节积累了极其宝贵的经验数据。我们决定共建‘高纯镍钴试验生产线’，为未来的金属布线材料做准备。同时，我们将引入红外测温技术，提升他们的过程控制精度。”

“510所，他们有国内唯一的大型真空—温度—辐射综合模拟装置KM-3。我们已经初步达成意向，联合制定《星载集成电路空间环境测试规范》，并共建芯片可靠性验证平台。这意味着，我们未来的芯片，可以在地面就经历严苛的太空环境考验。”

刘星海每念一处，岳伴教授、杨利民主任等台下相关单位的代表就挺直了腰板。

他们的工作，被纳入了国家级的战略计划，获得了前所未有的重视。

“宝鸡市，给了我们人才的惊喜。”刘星海的语气带着赞赏，“技术大比武涌现出的焊工周敏、电工陆明远、光学研磨老师傅……这些都是‘大国工匠’的苗子。我们已经与烽火通信厂、宝鸡机床厂等达成合作，并吸纳了数名技术骨干直接参与‘星河计划’项目。同时，获得了有色金属厂的材料供应承诺。”

“成都地区，成电在高频电路和微波技术方面底蕴深厚，红光厂有锗晶体管工艺经验，成都精密机床厂在光学读数和高精度导轨方面有特色……，我们与成电共建联合实验室，与红光厂探讨混合电路……。这些合作，将极大增强我们在高频芯片封装、精密设备制造方面的能力。”

“弄弄坪巨大的钒钛磁铁矿宝藏，伴生多种稀有金属。虽然分离难度大，但储量可观，我们已将其纳入特种材料预备供应体系，并计划联合建立现场分析实验室，研发特种冶金控制系统，提高资源回收率。”

最后，刘星海的语气变得格外郑重：“而西南线最重要的两项发现，是在云南和贵州。”

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