第302章 汤渺到来(1/2)
第二日一早,吕辰、宋颜、谢凯三人乘车前往位于杨浦区军工路1146号——上海机床厂。
相比于胶片厂、试剂厂的化学气息,红星轧钢厂出身的三人,更喜欢机床厂区的金属切削液和机油气味。
对他们来说,机床厂排列成行的龙门刨床、立式车床、万能铣床等工业母机,忙碌的工作,各种精密零件,才是熟悉的气息。
递交“星河计划”光刻组精密机械需求清单的过程异常顺利,甚至不能称之为递交,更像是内部的文件流转确认。
“宋教授、吕辰同志、谢凯同志,一路辛苦了!”技术科的孙科长热情地迎上来握手,“刘工从长春打来过电话,说你们这几天到。清单的草案我们早就研究过了,刘工在长光所那边,和我们、哈工大、武水院的专家开了好几次电话会,逐条推敲的。”
会议室里,孙科长将一份装订整齐的技术文件推到三人面前。封面上印着《“星河计划”光刻机精密机械子系统技术要求(V2.3)》的字样,右下角标注着参与单位:长春光机所、哈尔滨工业大学、武汉水利电力学院、上海机床厂、清华大学、红星工业研究所。
“这是根据各方反馈整合后的正式版。”孙科长翻开文件,指着一处用红笔修改的地方,“比如这个‘工作台定位精度±0.1微米’,武水院的专家结合未来洁净厂房微振动控制的数据,建议改为±0.08微米,更符合实际工况。我们和长光所、哈工大论证后采纳了。”
吕辰快速浏览着文件,心中涌起一股暖流。
这不再是他们最初那份略显理想化的清单,而是凝聚了全国多个顶尖单位智慧的、可执行可验证的技术规范。
每一处修改背后,都可能是一次长途电话会议、一叠演算纸、甚至是一轮激烈的技术争论。
宋颜教授感慨道:“孙科长,看到这份文件,我们更深切地感受到‘星河计划’不是一个人在战斗。刘工在长光所一线攻坚,你们在后方夯实基础,哈工大、武水院提供专项支撑……这才是真正的全国一盘棋。”
“一家人不说两家话。”孙科长笑着摆摆手,“刘工是我们厂派出去的骨干,他在长光所代表的不光是光机组,也带着我们机床厂全体技术人员的期望。这份清单上的每一个指标,都关系到未来光刻机能不能造出来、造出来能不能用。我们厂党委专门开了会,把配合‘星河计划’列为头等重要的政治任务和技术攻坚方向。”
接下来的讨论更像是一次项目进度同步会。
孙科长详细介绍了机床厂目前的准备情况:“气浮导轨的原理样机已经完成,用的是你们红星所提供的‘掐丝珐琅’电路板做控制,目前静态悬浮稳定性达到设计要求的70%。问题出在动态响应上,快速运动时气膜厚度波动太大,导致定位抖动。”
“激光干涉测量系统,我们和上海光学仪器厂联合攻关,氦氖激光器的稳定性基本解决,但干涉信号在车间环境下的抗干扰能力还不足,特别是大型设备启停时的电网扰动。”
“最难的还是那个‘压电陶瓷微动台’。压电陶瓷材料国内能小批量做,但性能离散度大,迟滞和非线性严重。我们正在和硅酸盐研究所合作,尝试改进配方和极化工艺……”
吕辰认真地听着,不时在笔记本上记录。
他注意到,孙科长提到的每一个技术难点,几乎都能在清单草案的备注栏里找到对应的风险提示,那是刘工和各位专家提前预判到的“深水区”。
“孙科长,关于压电陶瓷的非线性补偿,”吕辰抬起头,“我们集成电路实验室的诸葛彪同志,最近在研究一种基于查找表的自适应补偿算法模型。虽然是为晶体管特性补偿设计的,但思想是相通的。如果需要,我们可以把初步思路和数学模型分享过来。”
孙科长眼睛一亮:“太好了!我们正缺这方面的理论支持。压电陶瓷的位移和电压关系不是简单的线性,每次运动轨迹不同,迟滞曲线都略有差异。如果能建立实时补偿模型,精度至少能提升一个数量级!”
讨论持续了两个多小时。
没有客套,没有保留,有的只是技术人员之间最直接的碰撞与对接。
谢凯的笔记密密麻麻记了十几页,不仅包括技术要点,还标注了各单位对接人、下一步协同节点、需要红星所协调的资源清单。
离开时,孙科长一直将三人送到厂门口:“清单正式收讫,所有技术要求我们确认无误。请转告刘星海教授和‘星河计划’领导小组,上海机床厂保证完成任务!明年一季度,气浮导轨和激光干涉测量系统的工程样机一定拿出来!”
上午的对接顺利得让人振奋。
三人走在黄埔江边,这座城市,既有外滩的百年风华,也有漕河泾、杨树浦的工业脉搏;既有岳阳路的学术静谧,也有南京路的市井繁华。
黄浦江静静流淌,对岸,浦东的田野还沉睡在冬日之中,但吕辰知道,用不了多少年,那里将会崛起一片新的天地。
而他们,正在将这片土地上的工业力量、学术智慧,一点点编织成一张支撑未来技术崛起的大网。
或许,今天还只是图纸上的线条、实验室里的样品、会议室中的构想。
但总有一天,它会成长为参天大树,荫蔽一个时代。
下午,上海的天空难得放晴,冬日的阳光透过薄云洒下来,给这座湿冷的城市带来些许暖意。
李科长亲自驾车,载着吕辰和谢凯,前往虹桥机场。
车内,李科长一边熟练地转动方向盘,一边说着话:“汤教授他们坐的是下午两点半从北京起飞的航班,按时间算,差不多四点钟能到。机场那边我已经打过招呼,可以直接开到停机坪附近接人。”
“李科长,循环测试装置,今天能准备好吗?”谢凯在后座问道,手里拿着笔记本。
“已经安排人在弄了。”李科长点点头,“我们用有机玻璃做了一个透明的小型循环系统,泵用的是我们厂里最耐腐蚀的聚四氟乙烯磁力泵。就是那个观察窗的密封还有点问题,小张他们正在想办法。”
吕辰转过头:“关键是出口溶液的采样和检测。我们要能在循环过程中,每隔一段时间就取样,测金属离子含量。”
“原子吸收光谱仪已经校准好了。”李科长语气严谨,“精度能达到ppb级。”他顿了顿,“不过,如果真像你们说的,氮化硅陶瓷几乎不腐蚀,那可能根本测不出金属离子。”
“那才是最好的结果。”吕辰微笑道。
车子驶上通往机场的公路,路面变得宽阔起来。
远处,虹桥机场的指挥塔已经隐约可见。
到达机场时,刚好下午三点五十分。
李科长出示了工作证和介绍信,车子被允许开到一个指定的接机区域。
三人下车,站在空旷的水泥坪上等待。
初冬的机场风很大,吹得人衣角猎猎作响。
吕辰紧了紧大衣领子,望向跑道的方向。
天空中偶尔有飞机起降,引擎的轰鸣声震动着空气。
“来了。”谢凯忽然指着东南方向的天空。
一个小黑点逐渐变大,变成一架银灰色的伊尔-14型客机。
飞机平稳地降低高度,对准跑道,起落架触地时溅起一缕青烟。
机身沿着跑道滑行,最终缓缓停在远端的停机位。
乘客们陆续走下舷梯,吕辰眯起眼睛,在人群中寻找着熟悉的身影。
本章未完,点击下一页继续阅读。